基本信息

中文名称:三氟化氮

英文名称:Nitrogen trifluoride

中文别名:氟化氮;

英文别名:232-007-1; trifluoroamine

CAS号:7783-54-2

分子式:F3N

分子量:71.0019

物性数据

1.性状：无色、带霉味的气体。

2.熔点（ºC）：-208.5

3.沸点（ºC）：-129

4.相对密度（水=1）：1.89（沸点，液体）

5.相对蒸气密度（空气=1）：2.45

6.临界温度（ºC）：-39.3

7.临界压力（MPa）：4.53

8.溶解性：不溶于水。

存储方法

1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的，因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装，对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输，国外规定可以用汽车、火车运输，不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。

2.储存注意事项 储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

主要用途

1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。

2.2.用作高能燃料。

性质与稳定性

1.高纯NF3几乎没有气味，但商业用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性气味。临界温度气体。NF3是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350℃时，它的反应活性相当于氧，在高温下，NF3能与许多元素反应生成N2F4和相应的氟化物。三氟化氮是一种毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。

2.稳定性 稳定

3.禁配物 还原剂、易燃或可燃物

4.避免接触的条件 受热

5.聚合危害] 不聚合