最大扫描范围100×100×15μm,(闭环），分辨率：云母晶格图像（接触式模式，高解析模式），针尖定位噪声水平（Rμs）：大气条件下垂直方向小于0.08nm，水平方向小于1你们（闭环），液相条件下悬臂偏移小于0.3nm（弹性积数系数0.03N/M,温度20℃），850纳米波长激光源。​

最大扫描范围100×100×15μm,(闭环），分辨率：云母晶格图像（接触式模式，高解析模式），针尖定位噪声水平（Rμs）：大气条件下垂直方向小于0.08nm，水平方向小于1你们（闭环），液相条件下悬臂偏移小于0.3nm（弹性积数系数0.03N/M,温度20℃），850纳米波长激光源。​