等离子清洗机TETRA 30
Tetra 30等离子系统能够以不同的形式进行整合,可以
满足生产企业需求,也能够按照客户要求进行定制。
主要技术参数:
1. *便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
4. *反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm ,容积约为50L
5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6. 反射波自动调节,无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动/自动
9. *可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
11. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
12. 电源电压:400V /16A