等离子清洗机ZEPTO
等离子可以应用于材料接合或改变材料
表面属性。通过这项前瞻性技术可以改变几
乎所有的材料表面。
l 去除油脂、油、氧化物、纤维
l 去除硅氧树脂
l 绑定、焊接、粘结前的预处理
l 金属部件涂装前的预处理
l 键合
l 石墨烯、煤样灰化
配置可选：主要技术参数：
1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体，浮球气体流量计
4. 反应舱为高硼硅玻璃，Ø105 mm*L300mm，容积为2.6L
5. 发生器频率40KHz,功率0~100W无级可调
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，国产飞越真空泵，配有强制进气阀
9. 配有压力传感器，显示腔体内压力大小
10. 钠钙玻璃托盘：宽85mm，长260mm，厚5mm
11. 外尺寸：W425*D450*H185mm
12. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机ATTO
等离子体技术可应用于不同材料，例如：玻璃、
金属、塑料制品、纺织品和陶瓷制品。
l 小批量生产
l 分析（REM,TEM）
l 医疗技术
l 灭菌
l 研究和开发部门
l 考古
l 纺织技术
l 塑料技术
配置可选：主要技术参数：
1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L
5. 发生器频率13.56MHz,功率0~200W
6. 反射波自动调节，无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动
9. 真空泵的排气能力为8.0m3/Hour，国产飞越真空泵
10. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
11. 外尺寸：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
12. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。
l 硅蚀刻
l PTFE蚀刻
l 去除光刻胶
l 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
l 疏水层的沉积
l 亲水层的沉积
l 保护或绝缘层的沉积
l 防扩散层
主要技术参数：
1. 全自动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数
3. 单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制
4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L
5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀
9. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
10. 外尺寸：W310*D420*H330mm
11. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机PICO
等离子工艺可应用于任何需要进行且高效修改
的材料表面。
l 去除部件封装（半导体）
l 支架（牙医）
l 心脏起搏器
l 传感器
l 精密驱动间
l 车大灯反射镜
l 摄像头
l 医疗器械
配置可选：主要技术参数：
1.半自动控制
2.根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
3.双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
4.反应舱为高硼硅玻璃腔体，直径130mm, 长300 mm ，容积约为5L
5.发生器频率40KHz,功率0~200W
6.反射波自动调节
7.电极材质为铝
8.运行模式为手动
9.配套真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀，国产飞越真空泵
10*配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机NANO
小型生产型设备NANO可通过不同配置实现各种
等离子工艺，清洗、活化、蚀刻、涂层。高性价
比的设备可满足各种材料样品的中小型生产。
配置可选：主要技术参数：
12. 手动控制
13. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数
14. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量计控制
15. 反应舱为高硼硅玻璃材质，Φ 240mm、长400 mm，容积18L
16. 发生器频率100KHz,功率0~500W
17. 运行模式为手动
18. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour，原装进口干泵，Kashiyama
19. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
20. 外尺寸：宽 560 mm、高600-860 mm、深600 mm
21. 电源电压：单相AC230V 16A
等离子清洗机TETRA 30
Tetra30等离子系统能够以不同的形式进行整合，可以
满足生产企业需求，也能够按照客户要求进行定制。
主要技术参数：
1. *便捷的PC触摸屏控制，操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体，气体流量通过数字式流量计（MFC）控制
4. *反应舱为不锈钢，宽305mm×深625 mm×高300 mm ，容积约为50L
5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6. 反射波自动调节，无须手工调节
7. 电极材质为铝/不锈钢
8. 运行模式为手动/自动
9. *可存储多套工艺程序，图表实时显示工艺过程
10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour，配有强制进气阀
11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
12. 电源电压：400V /16A
常压等离子清洗机Plasmabeam /Plasmabeam DUO
对于常压等离子技术，等离子的生成是由于气体
在大气压力下通过高电压而被激发。等离子由高
压气体驱动从喷嘴中一同喷出。其等离子效应可
以分为以下两种：
l 表面激活及精密清洗
通过等离子束中所携带的反应粒子实现
l 此外，松散附着于材料表面的微尘将由高压
加速的激活气流带走
配置可选：
主要技术参数：
1. 手动控制
2. 等离子主机外形尺寸：W 562mm, H 211 mm, D 420 mm
3. 等离子喷头尺寸：Max. Ø 32 mm, L 270 mm
4. 可处理宽度：max.12mm
5. 射频发生器：20KHz/300w
6. 电源：230V/6A
7. 连接部分：冷却的处理气体（干燥无油的压缩空气）
8. 在主机背面，通过连接25针的SUB-D接口进行远程控制。
Parylene涂层设备 P6
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据
分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数：
1. 全自动控制
2. 涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯
3. 涂层厚度：0.05～50μm
4. 热解：5KW ，最高温度 700℃
5. 进气含均匀分散系统
6. 冷却：液氮最低可达﹣100℃
7. 极限压力：1×10-3mbar ，配有两个皮拉尼传感器
8. 涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L
9. 旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm
10. 真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝 D16B
11. 连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气
12. 外尺寸：W700*D500*H700mm
13. 电源电压：400V/16A/50-60Hz
Parylene涂层设备P300
主要技术参数：
parylene N, C, D, F-VT4
控制: Windows Full PC
涂层厚度: 0.05 ~100 um
外形尺寸：W2700*D2600*1600mm:
裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C
样品舱：Φ700mm*H720mm
样品台：Φ600mm*H660mm
耦合剂CVD一体化设计
冷却方式：液氮
真空泵系统：
Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa
外尺寸：L2200*W2700*H1600mm（不包含真空泵）
Parylene涂层设备P260
技术参数：
Parylene N, C, D, F-VT4,F-AF4
涂层厚度: 0.05 ~ 100 um
裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C
Gas injection: homogenous dispersal system
样品舱:Φ640*H800mm
样品台:Φ560*H650mm
耦合剂CVD一体化设计
冷却方式：液氮
等离子预处理模块：80kHz 0~5kW
真空泵系统：
Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa
控制: Windows Full PC
外形尺寸：W2600*D1000*2000mm
