EX-3000 手動測量台型規格表
壹. 螢光X線控制部:
1. X線源:油浸式小型微小焦點X線管. 50KV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數管。
4. 濾波器：採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。
5. 準直儀：Collimator 採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
(選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
(選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。
7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。
貳. 電腦操作部:
8. 電腦系統：(※僅供參考)
w IBM 相容中文個人電腦.
w CPU：Intel Celeron 900 MHz.
w RAM：128 MB.
w Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1.
w Hard Disk：20 GB.
w 17" 高畫質顯示幕.
9. 印表機：日本EPSON彩色噴墨式印表機。
10. 本機型(EX-3000系列)之操作系統採中文視窗(Windows XP)對話式操作，非常簡便。
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參. 特性說明:
11. 測量項目：
w 單層膜厚測定.
w 2層膜厚測定.
w 3層膜厚測定.
w 合金膜厚成份比同時測定.
w 化學鎳膜厚測定.
w 壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.
w 元素的光譜峰值測定分析.
12. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。
13. 測量範圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um.
14. 測量機能：
w 同一點重複測定機能
w 輸出形式設定.
w 能譜測定.
15. 測量條件或膜厚規格可以保存.
當要測量相同圖樣軌跡的製品時，若測量條件已儲存時，可以馬上進行測量。
最大檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。
最大測量檔案數 ：可登錄儲存300組檔案。
16. 檔案記錄：
w 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)
w 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.
w 每個批號可單獨執行統計處理.
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w 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).
w 每個測量檔案可輸入統計處理方式.
17. 資料處理：
w 統計值表示：平均值、標準偏差、最大值、最小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。
w X-R 管制圖.
w 柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。
w 測量資料輪廓剖面分佈圖。
w 測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。
w 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。
18. 底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。
19. 觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。
肆.安全裝置.
20. 本機俱有自動安全斷電系統功能.
21. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作.
伍.其他機能.
22. 密碼辨識功能.
23. 裝置維護調整.
陸.設備尺寸：
24. 測定部： 外觀尺寸：602(W) ×463(D) ×732(H) ㎜.
重 量： 約 55 Kg.
25. 操作部：(※僅供參考)
w 電腦主機尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：約 8.8 Kg.
w 顯示幕尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：約16.5 Kg.
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w 印表機尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：約 4.3 Kg.
26. 測量樣品限制.
樣品限制高度： 150㎜
樣品限制重量： 3 kg.
柒. X-Y-Z軸可移動式測量台.
27. 測量台尺寸及移動量.
測量台尺寸 170 ×110 mm，
移動量 (X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜.
捌. 使用電源.
28. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz
(選購) AC110V， AC220V.
29. 測定主機容量: 700VA.
30. 操作主機容量: 300VA.
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