臭氧是一种强氧化剂，氧化能力仅次于氟（F2），杀菌效果与氧乙酸相当，强于甲醛，比氯高1倍多。臭氧的杀菌消毒功能与一般杀菌剂不同，一般杀菌剂是起进行性、积累性的杀菌作用，而臭氧的杀菌作用是急速的，当其浓度超过一定阈值后，消毒杀菌作用甚至可以瞬间完成。臭氧正是凭借这种强大、快速的氧化能力而达到杀灭昆虫和微生物的目的。一般认为臭氧的杀虫机理为当害虫吸入臭氧时，臭氧的强氧化作用将它们的呼吸和循环系统氧化破坏，使其窒息死亡至于臭氧杀菌机理，一般认为臭氧首先作用于真菌、细菌等微生物的细胞膜，使细胞膜受到损伤，并继续渗到膜内组织，与细胞中的多种成分产生反应，产生不可逆转的变化，导致新陈代谢障碍，并抑制其生长，直至细胞死亡。臭氧具有极强的分解能力，可快速强力杀灭水中、空气中及附首面上的各种细菌，致病微生物，病毒真菌及原虫等。臭氧处理具有反应速度快、效力高、无残留物、不产生二次污染等优点。臭氧技术在水处理以及空间消毒都发挥着巨大的作用，而应用领域之广泛。