UV光氧等离子净化器一体机采用低温等离子静电吸附及高压电场先将有害气体大分子击散，使其分离成为小分子，然后再利用特制的高能光束照射，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。

一、低温等离子部分：空气在通过低温等离子设备时，流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除，使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。

二、UV光氧净化部分：再次进入到UV光氧净化设备后，利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的