MEMS100是一款采用 NDIR红外吸收检测原理的气体传感器模组，根据 SF6气体在 10.5um的吸收量确定浓度大小。MEMS100采用 MEMS光源、特殊结构的光学腔体和双通道探测器，实现空间双光路参比补偿，微处理器进行信号采集、处理和输出。具有很好的选择性，高灵敏度，无氧气依赖性，寿命长，低功耗；内置温度传感器，可进行温度补偿；同时具有 UART、PWM、485或者 modbus（用户可选）输出以及模拟电输出；报警点可设置，方便客户各种应用。
本供货范围适合各种电压等级变电站的六氧化硫（SF6）设备室（含GIS室）内气体含量的测量的控制，真空开关，断路器等。
l 工作条件
描述 | 符号 | 数值 | 单位 |
储存温度 | Tstg | -20 to 80 | °C |
工作温度 | TA | -30 to +60 | °C |
工作湿度 | HA | 0 to 90 | % RH |
工作压力 | PA | 0.8 to 1.2 | ATM |
l 电气特征
描述 | 符号 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 |
供电 | Vs | 9 | 24 | 35 | V |
最大工作电流 | Imax | | 30 | | mA |
光源电流 | Iavg | | 20 | | mA |
光源频率 | f | 0.2 | 5 | 10 | Hz |
预热时间 | twarm | 30 | 60 | 90 | Sec |
l 性能参数
描述 | 典型 | 单位 |
探测范围（可定制） | 1500 | ppm |
测量精度 | ±20ppm±5%真值 | ppm |
T90 | 泵吸 | 5 | 秒 |
重复性 | 零点 | <±50 | ppm |
50%
FS | <±5% 测量值 | |
寿命 | 10 | 年 |
