Filmetrics 薄膜厚度测量系统F20，F30，F40，F50，F60，F3-XXT
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Filmetrics是厚度测量系统的制造商。Filmetrics的厚度和回缩指数可以在不到一秒的时间内测量。像Filmetrics的所有仪器一样，例如F20型号连接到用户Windows计算机的USB端口并在几分钟内设置。

只需一次点击，我们就可以通过分析薄膜如何反射光来测量薄膜的厚度。通过测量人眼不可见的光，可以测量薄至1nm和厚至13mm的薄膜。而且，由于没有移动部件，结果可以在几秒钟内获得：薄膜厚度，颜色，折射率，甚至粗糙度

薄膜厚度测量系统

F20系列

测量膜：平面，半透明，吸光膜。
例如：SiO 2 SiNX DLC，光刻胶，多晶硅，

                            非晶硅，硅晶片
基板：平坦，反射

如果要获得光学指数，基板应该是平坦的和反射的。如果衬底是透明的，则应该进行反射处理。

基板：Si，Al，GaAs，钢，聚合物薄膜，

                          聚碳酸酯

用F30光谱反射系统实时测量沉积速率，薄膜厚度，光学常数（n和k）以及半导体和介质层的均匀性。

F40：显微镜薄膜厚度
测量系统

F40产品系列适用于需要小至1微米的光点尺寸的应用。对于大多数显微镜，F40只需连接到摄像机安装的行业标准Cmount适配器。

几乎任何样品形状的厚度和指数的全自动映射。手动加载和机器人加载系统是可用的。

Filmetrics F60-t系列可以像我们的F50产品一样映射薄膜厚度和索引，但是它还包含许多专门用于生产环境的功能。其中包括自动缺口查找，自动机载基线测量，带运动互锁的封闭式测量平台，预装软件的工业计算机以及升级到完全自动化晶圆处理的选项。

不同的F60-t仪器主要根据厚度和波长范围进行区分。通常需要较短波长（例如F60-t-UV）来测量较薄的膜，而较长的波长允许测量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F3-XXT专门设计用于测量非常厚的层，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中经常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness软件模块，可以在几分之一秒内测量5μm至1000μm厚的硅。视频成像可以与SampleCam-XXT一起添加。

XY8自动阶段可以添加自动XY映射功能。自动对焦选项也可用。

为了测量更薄的层（小于0.1μm），可以添加可见波长光谱仪。

与我们所有的厚度测量仪器一样，F3连接到Windows™计算机的USB端口，并在几分钟内完成设置。