日本日立HITACHI高分辨率FEB测长仪器CG5000(HITACHI CD-SEM)  的详细介绍

高生产性

此装置革新了运送机器的结构构成（包括装、卸部件以及平台速度和停止精度的提高），实现AF的高速化，通过可变像素实现测长区域的 优化，从而缩短MAM时间，与以往相比，提高了约40%的处理能力。

高分辨率

此装置通过改良电子光学技术及图像处理技术（降噪，改善边缘锐度，图像内部暗部强调），改善了Image Sharpness。

长期稳定性

• 再现性
  此装置通过电子光学系统的稳定化，以及增加计量类型，可以实现测长区域的可设定性的可变像素，达到较高的再现性。
• 匹配
  此装置使用平台上的专用样品，通过开发的多种自动校准功能，实现了长期稳定的匹配性能。
  特别是显著改善了CG5000同一型号间的机型差异，实现了生产线管理的稳定化。