日本日立HITACHI超高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000 的详细介绍
随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更**的信息收集。 样品:包裹有机物的金属棒
成像能力追求信息 大化的检测系统
SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更**的样品信息。
随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的 大化。
・大型样品观察
・低真空观察
・超低温观察
・实时观察
等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。
采用肖特基发射电子枪, 大束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。
样品提供:Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 (加速电压:1 kV)
通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号,UD可获取表面微细形状信息,MD可获取表面有机物包覆状态信息,LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下,实现了获取信息的 大化。
使用单屏时,可以单通道、双通道、四通道显示样品信息,也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。
支持双屏显示1st显示屏专门用来显示图像,2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图(1st显示屏)是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图(2nd显示屏)将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示,界面布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时,操作性能也得到了进一步提升。
可扩展观察和分析方法样品仓和马达台
样品仓外观
标配18个附件接口
马达台外观
XY轴可移动距离为135×100 mm
样品仓可搭载 大直径为φ 250 mm; 高80 mm的样品。大开仓设计,标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴 大移动距离为135×100 mm, 重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台完全不成问题。
相机导航功能(*)通过相机拍摄样品
将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航
SU7000可选配导航相机(*),迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内,插入样品后,可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口,因此,用户可以观察窗口中的图像判断位置。 大适用尺寸为φ 100 mm。
(*)可选配相机。支持动态观察的检测系统SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)。
低真空环境的探测器选择
左图为通过MD(背散射电子),右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。
PD-BSED:响应速度提高
左图是以一般的响应速度,约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移,使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高,更适用于In-Situ观察。
二次电子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
0.9 nm/1 kV | ||
20~2,000,000 x | ||
发射体 | ZrO/W热场发射(肖特基热场发射) | |
加速电压 | 0.1~30 kV (步进:0.01 kV) | |
束流 | 大200 nA | |
标准探测器 | UD (上探测器) | |
MD (中探测器) | ||
LD (下探测器) | ||
选配探测器*1 | PD-BSED (半导体式背散射电子探测器) | |
UVD(高灵敏度低真空探测器 ) | ||
样品仓压力范围 | 5~300 Pa | |
可使用探测器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | |
马达台控制 | 5轴马达驱动 | |
移动范围 | X | 0~135 mm |
Y | 0~100 mm | |
Z(WD) | 1.5~40 mm | |
T(倾斜角) | -5~70° | |
R(旋转角) | 360° | |
样品尺寸 | 大直径:φ200 mm, 大高度:80 mm | |
23英寸LCD (1,920×1,080), 支持双屏 | ||
全屏显示模式 | 1,280×960像素显示 | |
单屏显示模式 | 800×600像素显示 | |
双屏显示模式 | 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 | |
四屏显示模式 | 640×480像素显示 | |
六屏显示模式*2 | 640×480像素显示 *2 | |
保存图像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
能谱仪(EDX) | ||
X射线波谱仪(WDX) | ||
电子背散射衍射(EBSD) | ||
阴极荧光探测器(CL) | ||
冷冻传输系统 | ||
各种功能样品台 |