LM   (标准升/分) 标准状态规定为:  温度—— 273.15K                        (0℃ );

气压—— 101325 Pa   (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中心，单位SCCM和“mL/min,0℃,1atm”等同，单位SLM和 “L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S. (Full Scale):      满量程值     ；     S.P.(SetPoint)：     设定点值

1.6  标定

CS200-A,C,DMFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，

则按照标准状况标定。

1.6.1  标准状况

出口压力：大气压 气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为： SCCM：标准毫升/分钟

SLM：标准升/分钟 标准状态：温度0?C       (273.15K) 气压：101325Pa   (760mmHg)

在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

MFC/MFM  的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直（进气口向上或向下）、平躺 及其它位置的安装，为保证的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。

1.6.2  制造环境

CS200-A,C,D型MFC/ MFM是在温度为22±2℃的100级的净化间内组装，1000级净化环境 下标定及包装。

1.6.3  精度调节

CS200-A,C,D型MFC/MFM在制造完成后都要在相应的标定台上烤机24 小时，然后进行精 确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查，合格后方可出厂。

★高性能价格比、普通型产品

 
★橡胶密封、模拟电路的MFC

 
★7A型的更新换代型

 
★管状分流，使用寿命长 用 途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

详询：15286826848

业务经理：李工

QQ:760625767