纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
测量表面形貌的新标准随着材料不断趋向平坦化、薄膜化及结构的微细化，人们开始要求比传统的普通SPM（扫描探针显微镜）、触针式粗糙度测量仪及激光显微镜等产品更高的测量精度。相比较利用光干涉原理的白光干涉扫描显微镜，纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800，使用更方便，测量精度跟高，测量范围更大。此外，传统的采用线粗的测量方式仍存在“测量位置导致的结果偏差”和“扫描方向导致的结果偏差”等重大课题。VS1800的解决对策是通过参照国际标准ISO25178规定的表面形貌评估方法来计算参数，建立测量表面形貌的新标准，从而受到了各界的关注。
■与普通测量仪器比较原子力显微镜的纳米尺度3D探针测量系统AFM5500M同样可实现高度的分辨率为0.1nm以下，与此相比，纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800的一大特点在于面内方向的测量范围更大。发挥两种测量系统各自的优点，根据需求选择最佳的测量系统有利于生产率的提高。
优点- 高分辨率、大范围
采用独创的算法，实现垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于无需依赖于物镜的倍率即可实现较高的垂直方向分辨率，即使是大范围（最大测量视野6.4 mm × 6.4 mm）的情况下，也能测量纳米尺度的粗糙度、高差。Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
- 测量数据的重现性高
高度测量使用干涉条纹，将Z驱动产生的影响控制在最小程度，从而实现测量重现性误差低于0.1%（Phase模式下）。 - 高速测量
通过以平面捕捉样品，不对X、Y方向进行扫描，从而实现高速测量，并且由于采用非接触方式，测量时能够保证不会给样品带来损伤。 - 无损伤测量
对于以往切割样品后形成截面来对多层膜层结构及层内部进行的异物测量，VS1800能够以无损伤方式进行。对于透明层结构样品，利用透镜的高度坐标以及各界面产生的反射光，通过各光学界面出现的干涉条纹输出虚拟截面图像。 - 测量简单
搭载有可直观性使用的操作画面，可以当场确认处理后的图像。可以简单地将处理及分析内容列表、生成原始分析库、重复使用分析库等。还支持数据的批量处理，统一管理多个样品及分析结果，减轻繁杂的后处理程序。
此外，导入表面形貌评估方法的国际标准ISO25178的项目，自动按每个样品选择合适的参数。VS1800搭载有可对参数选择提供建议的工具，有助于提高管理的精度。 - 配置灵活
手动XY样品台为基本型号Type 1，并提样品台电动化逐级提升的Type 2以及Type 3。各型号的升级可通过需求来进行，根据用途轻松引进系统
| 马达驱动 | 标配（Z轴移动范围～10㎜） | ||
| PZT驱动 | 新增选配（Z轴移动范围～150 μm） | ||
| 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ± 50 mm | ± 75 mm | |
| 样品台尺寸 | W205 × D150 mm | W225 × D225 mm | |
| 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ± 2° | ± 5° | |
| 标准相机或高像素相机 | |||
| × 1或 × 0.5 | |||
| × 0.7透镜（新增选配） | |||
| × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 | |||
| 标准 | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件时 | 50～100 mm | 0～100 mm | |
| Windows 10 | |||
| 被动式或主动式 | |||
| 表面形貌测量 | 大倾斜角测量 |
ISO参数（参照ISO25178） | 界面分析、层面分析 截面面积、线测量 在材料，加工行业广泛经营的纸质产品及树脂产品，为满足所要求的功能，均作了各种各样的研究。因此，表面形貌及表面粗糙度的测量在质量管理方面起着关键作用。此外，当多层膜等产品出现不良时，需要查明表面、界面或层内哪个部位出现问题，并且很多情况下根据不同样品，还要求进行无损伤测量。 测量实例1 显示器用薄膜 显示器用薄膜的表面作了各种加工，以保持防反射、防止指纹造成的污染等功能性。VS1800不仅针对平滑的薄膜表面，对于像亚光膜表面那样凹凸不平的样品，也能以较高的重现性进行测量。 测量实例2 颗粒镀膜 颗粒填料用于改善表面的防眩性，以及控制与其他表面粘合的性能，其形状、大小及密度等的测量是必不可少的项目。VS1800不仅可以观察形状，还能利用大小及数量等的分析功能进行评估。 包装膜包装膜通过层压具有阻隔性等功能的材料层，防止内装物劣化。因此，比如了解该材料层的膜厚是否可以表现其功能等，对材料各层的膜厚管理非常重要。VS1800不仅可以评估表面粗糙度，还能以无损伤方式显现层内部的结构，评估各层的厚度及厚度不均匀程度，因此有助于包装膜的质量管理。 测量实例1 测量实例2 高分子材料无论表面是什么材质，VS1800都能以较高的分辨率测量高度，对于如高分子材料之类透明薄膜的高差等也能进行高精度测量。 此外，关于VS1800的界面分析，对于透明材料多层层压时发生的气泡不良等现象，能以无损伤方式进行评估，因此无需制作截面，即可确认哪个层发生了异常。 测量实例1 玻璃基板上高分子膜的高差 测量实例2 胶带粘贴面 纤维材质表面VS1800具有发挥高速、高分辨率功能的“标准测量模式”，以及可测量光反射微弱的斜面之“大倾斜角测量模式”，除了像光面纸之类的平滑表面，还能对名片表面等粗糙的纤维材质表面进行测量，测量范围广泛。 测量实例1 光面纸 测量实例2 名片印刷面 |
