XP-62X三维XYZ向压电纳米定位台

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　　XP-62X三维XYZ向压电纳米定位台的详细资料：
　　三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
　　特性：
　　1~3维自由组合
　　? 位移行程8μm ? 最大承载0.8kg ? 重复定位精度可达纳米级
　　? 亚毫秒响应时间
　　1-3维平移台
　　P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。
　　典型应用
　　? 显微成像 ? 纳米定位
　　? 生物技术 ? 半导体技术
　　? 质量保证测试 ? 微车削
　　? 原子力显微镜
　　小体积、高精度、响应速度快
　　P63系列压电纳米定位台最重要的特点是超级精密 且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸 为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。
　　P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
　　应用实例
　　P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。