概述

AWM40000 系列气体质量流量传感器，放大， 流量/压力范围：+ 6.0 SLPM; 接口类型：岐管。
操作
微桥气体质量流量传感器的工作原理是热传递。气体质量流量经引导流过传感元件的表面。输出电压与流过封装进出口的空气或其他气体质量成正比。特殊设计的外壳地引导和控制气流流过微结构传感元件。封装的机械设计能够轻松将其安装在印刷电路板上。

微桥气体质量流量传感器内含一块独特的基于先进微结构技术的硅芯片。该芯片采用薄膜和绝热桥结构，内含加热器和温度传感元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件两侧的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜电阻保证了从每个传感器之间始终具有一致的可互换性。

微桥气体质量流量传感器利用包裹在氮化硅薄膜中的热电阻。这些电阻呈悬浮状态，在硅片的刻蚀腔上方形成两座桥。芯片置于规格的气流通道，提供可重复的流量响应。通过在流量传感桥下刻蚀空腔，发热器和传感电阻能实现高效的热隔离。微桥式气体质量流量传感器的小尺寸和热隔离功能实现对气流的极速响应及高灵敏度。

惠斯通双桥控制气流测量——一个提供闭环发热器控制，另一个包含双传感元件。加热器电路通过提供与质量流量成正比的输出，程度地降低环境温度变化导致的输出变化。此电路可维持加热器的温度以高于环境温度 (160 °C) 恒定温差，而环境温度则由芯片上的热电阻测量得知。装置的输出与电源电压成比例，也与惠斯通电桥电路的差分电压相对应。

注意
程度地降低某些应用中可能产生的灰尘污染的影响。经过设计，气流中可能存在的尘粒将平行于芯片表面流过芯片。另外，微结构芯片产生的热迁移效应能移走桥结构上的微米级尘粒。

可使用简单的过滤网，防止粉尘附着在芯片边缘和通道表面。在大多数应用中，只要在气流装置的上游侧串联一只一次性的五微米过滤网，即可获得充分的过滤效果。

警告
产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。 
不遵守这些说明可能会导致产品受损。

介质兼容性 仅干燥气体
备注 氮气校准气体

产品特点

• 精密硅微机械加工

• 对 0.1 sccm 至 20 SLPM 的低流量敏感

• 适用于较高流量

• 快速响应时间

• 模拟输出

• 功耗低

• 可重复响应

• 激光微调后具有可互换性

• 准确、经济型流量传感

• 单列印刷电路板端子

• 标准的 2.54 mm (0.100 in) 安装孔距

• 0.001 in 至 4.0 in H2O (0.003 至 10 mbar) 低差压准确传感

应用领域

• 加热、通风和空调系统的风门控制

• 气体分析仪

• 低真空控制

• 过程控制

• 医用呼吸机和肺活量仪

• 制氧机

• 泄漏检测仪

• 通气罩

• 麻醉控制

• 气体计量

• 气相色谱仪

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宝盛传感器主要从事传感器及控制芯片的销售推广。 公司与多家传感器制造商/半导体生产商建立了稳定、长久的合作关系，积累了专业的传感器知识及丰富的销售经验，集团化资源，丰富的储备，能够为用户提供专业、完善的解决方案。
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质保承诺：
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库存与运输管理：
产品存放采用标准的防静电、防高温、防腐蚀管理手段，严格按照客户要求进行包装和运输。

出货保证：
所有出货产品根据客户要求提供一定质保期限，同时诚挚建议终端用户在进行全部或抽样使用或测试时采用插座，避免直接焊板造成芯片管脚损坏

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