贵阳供应日本尼康(NIKON)测量仪VMR-K3040ZC 的详细介绍
日本NIKON尼康 CNC视频图象坐标测量仪
NEXIV VMR-K3040ZC产品叙述:
这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪，它能够在同一视场内，同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测*先进的IC封装的立体形状。
明场
共聚焦
合成效果
应用领域：
硅片级芯片封装(二维＋高度)、MEMS、Probe Card等。 特點 領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統
新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用
高精度之高度量測
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測高速度: 1.5 sec (1 cycle time) 物鏡選擇 | 倍率 | 1.5x | 3x | 7.5x | 工作距離(W.D.) | 24mm | 24mm | 5mm | Confocal optics (測高範圍) | *大測高距離 | 1mm | 1mm | 1mm | 視野 | 8mm x 6mm | 4mm x 3mm | 1.6mm x 1.2mm | Z 軸重複性 (2σ) | 0.6μm | 0.35μm | 0.25μm
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