旋片真空泵厂家以下有关pompetravaini真空泵的相关技术介绍 干式泵抽除颗粒物的措施与方法 ; 在半导体产业为主要应用对象的干式泵会因许多工艺过程的抽气而出现一些颗粒物, 以前用PFPE油的油封式机械泵, 有油封作用, 因此成了颗粒物的捕集器, 混在油里的颗粒物过滤除掉, 造成维护工作量加大, 运行成本也提高了。 ; 在半导体工业中使用的气体和反应生成物都要通过泵中, 这些物质与空气和湿气混合,能形成氧化物, 有些能自燃引起爆炸,因此在半导体工艺中使用的真空泵要经过这些恶劣环境的考验。一般来说, 在真空泵现颗粒物有三种情况。 ① 有时泵内压力增高,而引起气固过程的发生; ② 在泵内气体成分的反应生成物。 ③ 抽气过程混入的颗粒物。 ;; 防止颗粒物在泵中形成是的措施: 一般物质的升华是压力和温度的函数,各种物质都不相同,若简单调整泵的温度也可避免气固过程的发生。例如在Al刻蚀过程中,反应生成物AlCl3,由蒸汽压表明, 在温度> 80℃时AlCl3就挥发了, 如果能控制泵温,AlCl3的沉积就可以避免。由此可见不是泵温越低越好。单位时间形成颗粒物的数量用反应率来表示 式中　r ——反应率 T ——热力学温度 　; K0——常数 Ci——成分i的浓度 　; E ——激活能ni ——Ci的指数 　; R ——气体常数 ; 从公式得知, 减少浓度是降低生成颗粒物的有效的办法。而且充入惰性气体也是最容易实现的。改变公式中的E和T是有局限性的。这种反应在高压下容易发生, 因此在泵的压缩开始之前就通入惰性气体才行。 ; 这种方法也可以防止CVD过程现爆炸的危险, 引入惰性气体N2,使其浓度降低到低于着火极限,在这种条件下,反应率很低不会有爆炸发生。直到现在, 还不能完全阻止颗粒物在泵腔内生成。为了保证颗粒物处于悬浮状态, 防止沉积, 气体的流动速度必须大于颗粒的临界速度(即的降落速度)。 ;; 颗粒的临界速度和压力之间的关系, 如图17所示,颗粒尺寸对其临界速度的影响很大,要保证小的临界速度Vt,颗粒也要很小,才能很好的被抽走。 图17　颗粒物的临界速变与压力的关系 ; 泵内的压缩过程气流的速度Vgas可由下式计算 式中　Qpv——为气流量 　;; P——压力 　;; A ——流道的断面积 ; 若压力P增加会引起气流速度下降。随着压力增加, 气流速度达到或大于临界速度,使颗粒物处于悬浮状态。颗粒物的形成也多半在压力增高时发生。如向泵内及早充入气体, 以使颗粒尺寸还小, 有尽可能小的临界速度, 充入的气体量要大,使气流速度大于临界速度,保证了颗粒物实现气力输送,这样一来每级却都要充入气体, 充入的气体量与压力成正比,以保证有足够的气流速度。 ; 充入气体量对泵的性能是有影响的, 要满足性能要求才行。 ; 如泵在极限压力下运行, 即 式中　S th ——泵的几何抽速 ;; 　Pc——极限压力 　;; qpv ——内部的返流量 ; 若想得到一定的极限压力Pc, 就必须减少泵内部高压侧向低压侧的返流量, 为了抽除颗粒物, 充入气体增加了内部返流量, 因此要将充入的气体量, 达到对极限压力影响最小的程度为好。 　　干式泵抽除颗粒物的措施与方法旋片真空泵厂家以下有关pompetravaini真空泵的相关技术介绍 真空泵的机械安装方法 关于真空泵机械安装方法，广大网友知道多少呢?今天小编就带大家详细了解一下真空泵的机械安装方法。 　　1、真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。 　　2、真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。 　　3、真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。) 　　4、在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。 　　5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。 　　6、真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向) 　　7、对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。 　　8、如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。 　　9、当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。 　　真空泵的机械安装方法
　售后服务承诺书 　　2x-8真空泵软件产品售后服务承诺书 　　三、2x-8真空泵验收标准： 　　1验收方法：所有设备按生产厂家的产品验收标准及合同中的相关条款进行数量及质量的验收。 　　2初验收 　　货物送至买方安装现场后，由我司和买方共同对货物的数量、基本质量、外包装等进行检查、核对、即初验收。 　　3初验收后，根据用户要求进行现场安装及调试，结果应贴合使用要求。在此期间，如发现设备质量有问题我司无条件免费更换，直至验收合格交付使用。 　　4、技术服务计划 　　一旦中标，本项目的技术服务资料立即纳入到本投标人技术服务体系中。我公司将按照招标文件、合同的要求以及我公司做出的承诺，开展技术服务的相关工作。 　　技术服务工作，将保证宁夏高速公路监控系统的顺利实施;系统建成后，系统功能完全满足合同要求，用户能够正常使用;用户的人员得到专业化的培训和详细的技术指导;向用户带给详细的技术资料;保证质保期后的技术服务。 　　5、技术培训计划我方承诺 　　在系统正式投入运行之前，我方组织专业技术人员对招标单位的作人员、技术人员进行免费的、不同层次的培训，直到被培训人员能完全胜任工作要求。