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真空系统常用除尘过滤方式及过滤装置
;; 有些真空工艺会产生大量的灰尘，如果灰尘随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和破坏，堵塞油路或使泵无法运行，如果灰尘进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘埃的防止和过滤己成为延长真空系统的使用寿命，提高生产率的关键问题，在有尘埃的真空系统中，必须采用尘埃过滤器。
; 在灰尘量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但灰尘量较大时，为防止真空泵的损坏，保证真空泵的正常运转必须使用除尘器。如图33 所示，常用尘埃过滤方式有以下几种：
; （1）旋风离心式（见图33a）。进气口与筒体成偏心放置，尘埃随气流旋转，因离心力作用而沉降在过滤器的底部。
; （2）油淋式（见图33b）。在油泵的作用下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互作用吸附，混在气流中的尘埃与油一起沉降至油池。
; （3）油湿介质粘附式（见图33c）。尘埃在气流作用下撞击用真空泵油浸湿的介质表面而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
; （4）介质阻挡式（图33d）。利用介质的机械阻挡作用过滤尘埃，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
; （5）静电吸附式（见图33e）。利用真空中气体辉光放电形成等离子体，尘埃在等离子体中附着电荷，在电场力作用下被驱向电极表面而被捕集。
; （6）混合式。将以上几种过滤形式进行组合形成混合的过滤形式。
;; 总之，过滤器的型式和结构尺寸的选择主要根据以下因素考虑：所要求过滤的尘埃直径、过滤效率、容尘量、通导能力、工作真空度、作装拆清洗方便等。

图33 真空技术中常用的尘埃过滤方式简图
;; 图34所示为一种适用于油封机械真空泵入口处的机械阻挡式过滤除尘器，其工作原理为被抽气体由除尘器入口1进入除尘器、外筒室2 相当于旋风分离器，大颗粒灰尘在此被分离并沉积于外筒室底部。较小的颗粒随被抽气体进入油浸过滤器。经过充分除尘的气体由出口4或5进入真空泵。
;; 图35 为一种混合式尘埃过滤器的结构简图。油泵把油注入中心管道，一部分油沿喷嘴向四周淋湿百页板，一部分注入上部的过滤介质（陶瓷环或金属丝条）将其淋湿。气流由侧面偏心设置的入口管进入，大颗粒尘埃在旋风离心作用下沉淀到油池，上扬的较小颗粒尘埃被油湿百页板表面粘附或被的油柱捕集，并随油一起汇入油池。当气流压力较高（几千Pa 至1 个大气压）时，顶部阀门关闭，气流只能通过油湿介质，微小尘埃被油湿介质粘附，气体由出口排出，当压力小于几千Pa 时，可把阀门打开增加通导能力。该过滤器适用于镁冶炼真空还原炉的真空系统，它的主要优点是过滤效率高，能改变通导适应不同抽气阶段真空度的要求、容尘量大，长期工作后，可由底部直接排放污油，使用维护方便。

图34 油封真空泵过滤器图 35 混合式过滤器结构图
　　真空系统常用除尘过滤方式及过滤装置
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