非接触式三次元

Ø测量范围：500*500*300(W*D*Hmm)

Ø允差：U1xy =(2.0+3L/1000)μm

                   U2xy =(3.0+4L/1000) μm

                   U1z   =(2.5+4L/1000) μm

Ø测量范围：1200*1000*200(W*D*Hmm)

Ø允差：U1xy≤ 2.0 μm

                   U2xy =(4.0+4L/1000) μm

                   U1z   =(6.0+4L/1000) μm

Ø测量范围：1500*1200*200(W*D*Hmm)

Ø允差：U1xy≤ 2.0 μm

                   U2xy ≤4.0+4L/1000) μm

                   U1z   =(6.0+4L/1000) μm

接触式三次元

Ø测量范围：700*1000*700(W*D*Hmm)

Ø允差：(1.7+4L/1000) μm * (L测量长度,单位：mm)

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