STACIS®介绍
STACIS®III是主动振动隔离系统。采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离。一开始被设计用于半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载新的双核处理器，前后面板上都配备以太网和USB串口，新型控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动xiao,除系统。
STACIS相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同，STACIS可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。
设计有通信串口和专有high-force压电技术导致其具有大的主动带宽0.6赫兹到150赫兹，以及从2Hz开始主动振动xiao,除性能可达到90%。
产品特点
1、从0.6Hz开始隔离振动，1Hz时可隔振40%到70%
2、2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超过90%的振动隔离
3、减少工厂地板铺设成本，使设备能够安装在较强振动环境中
4、主动带宽：0.6Hz到150Hz
5、设备制造商竭力推荐
6、六自由度活动硬性底座设计，无气浮支撑
7、鲁棒控制系统，不需要预先调适
8、可与设备内置隔振系统兼容
9、当环境振动水平随时间增加时，确保设备满足自身的振动标准
10、利用TMC Stacis®技术通过压电陶瓷致动器来xiao,除振动
11、带有基于计算机的图形用户界面(GUI)的数字控制器
12、在旧的、有噪音的地板上也可以安装使用
13、兼容各种地板的高度和类型
14、TMC关注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服务
性能特性
主动自由度：6
主动带宽：0.6 Hz-150 Hz
固有频率：被动弹性体:18 Hz、有用主动谐振:0.5 Hz
1Hz时隔离、2Hz及以上的隔离：40%-70%、 90%或以上
调节时间(10lb.阶跃输入)：0.3秒
固有噪声：<0.1nm RMS
每条支腿的负载范围 隔离器负载an,全系数 181-2041 kg >2:1
隔离支腿数量：通常为3、4条
刚度(以典型中负载隔离支腿为例)：40000 lb/in.(73x105 N/m)
磁场强度：<0.02 micro-gauss
DC-2020 控制器特点
外形尺寸(HxWxD)：45 mmx483 mmx216 mm 可选配悬挂支架
重量：6.3lb（2.9kg）
处理器：双核心处理器150/75 MHz
采样频率：10kHz
模拟输出：16通道
模拟输入：16通道
状态指示灯：单一指示灯
前操作板端口：USB 2.0串口、微型USB串口、以太网RJ-45、2BNC连接器
后操作板端口：以太网RJ-45，USB 2.0串口 RS-232，DB-9预留串行端口（兼容 SACIS 2100）
用户接口：终端字符菜单基于windows的个人电脑扩展GUI嵌入式以太网GUI控制页面
应用注释
振动对浸没式光刻技术的影响
(实际客户提供数据)
设备一开始被安装在由钢制支撑结构支撑的钢铁混凝土基座（商用弹性体隔振垫）上，但是这台基座没有达到设备指定的振动标准，模型图品质较差。
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激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等
探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等
定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等
光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等
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