超高纯单级减压阀
自由提升阀设计
哈氏合金(镍基合金)(耐酸, 耐腐蚀)
精密电子抛光5 Ra, 10 Ra
Cv=.06 (3500 PSIG max. inlet)
Cv=.15 (600 PSIG max. inlet)

入口压力: 600, 3500psig
出口压力: 1-30, 1-60, 1-100, 1-250psig

介质接触部件材料
阀体：316L SSR不锈钢 电子抛；316L SST不锈钢 内表面加强电子抛光；316L VAR SST二次提纯不锈钢 精密电子抛光
膜片：316L 不锈钢
阀座：PCTFE(聚三氟氯乙烯 )/ Teflon / Vespel(聚酰亚胺)(3500psig)
提升阀及弹簧：316不锈钢
内表面精密电子抛光(P.E.P)：10 Ra 或 5Ra µ;in
内部漏率检测：1 * 10-9 atm cc/sec He（氦气）
入口压力衰减：0.7psig/100psig

推荐流量: 0~100slpm