超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，其反应为： 750—850℃ ：SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ，850—900℃ ：SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料，NH3的质量好坏直接决定发光二极管（LED）的亮度，它的价格高低左右着LED的经济性。