产品主要特点
1.SEM和EDS系统的积分
进一步集成SEM和EDS系统，实现无缝操作形式观察到分析。
2.新的“Zeromag”功能
通过Zeromag功能，样本导航比以往更容易。用户可以使用光学图像或持有人图形定位要成像的区域或在多个字段上指定分析位置。
3.新的“实时分析”功能
利用Analytical series（(“Live Analysis”)，嵌入式EDS系统在图像观察期间显示实时EDS光谱以用于有效元素分析。
4.“SMILE VIEW™实验室”，用于图像和分析数据的集成管理
将从收集的SEM图像到元素分析结果的所有数据集成以促进快速生成报告。
5.技术交流
从样本引入到图像观察的引导操作。
JSM-IT500系列可有4种配置：BU（基本单元）/ A（分析）/ LV（低真空）/ LA（低真空和分析）
分辨率：HV模式：
3.0nm（30kV）15.0nm（1.0kV）；LV模式：
4.0nm（30kV具有背散射电子图像）
直接放大倍数：x 5到x 300,000（用显示尺寸128mm×96mm定义）
显示放大倍数：x 14到x 839,724（用显示器尺寸358mm×269mm定义）
电子枪：钨（W）灯丝
加速电压：
0.3 kV至30 kV
探头电流：1 pA至1μA
LV压力调节：10〜650Pa
自动功能：灯丝调节，枪对准，焦点/标记/亮度/对比度
最大试样尺寸：200 mm直径，90 mm高度
样品台大型中心型：X：125mm Y：100mm Z：80mm倾斜：-10°至90°旋转：360°
标准配方内置（包括EDS条件）
图像模式二次电子图像，REF图像，
组成图像，地形图像，立体显微图像
EDS功能：光谱分析，定性和定量分析，线分析（水平线，特定方向线），元素映射，探测跟踪
