型号: Sputter 16
 特性:
 真空度 2E-10 torr
 Co Sputter system
 4 Sputter Cathodes
 4 axis substrate
 manipulator with rotation and XYZmovement
 SiC Heater
 Pumping throughput control

上海伯东: 叶女士                               台湾伯东: 王女士
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