MDX系列500W 在真空环境中经久耐用,能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。
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优势:
●超载内置保护
●可靠性和耐用性
●快速反应时间
●兼容性认证
特点:
●多级弧抑制及灭弧
●用户I/O接入
●功率、电流或电压调节功能
规格:
●输入电压:90-132VAC(50-60HZ),1Φ
180-265VAC(50-60HZ),1Φ
●输入电流:10A @120VAC @500W
6.3A @230VAC @500W
●输出电压/电流:0-600V @0-1A,500W
0-1200V @0-0.5A,2000W
●输出功率:0-500W
●尺寸:(单)86.63×215.9×406.4mm(高×宽×长)
(双)86.63×482.6×406.4mm(高×宽×长)
●重量:(单)5.57KG
(双)11.14KG
MDX 500W
1 kW 和1.5 kW
MDX 系列1 kW 和1.5 kW 电源在真空环境中经久耐用,其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们***常用作直流磁控溅射电源;在该领域,二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源。
优势:
●针对标准 Z 和低 Z 应用的两种配置
●高频开关电路从线路到负载的效率超过90%
●Arc-Out? 抑制电路
●常用作直流磁控溅射电源
特点:
●尺寸小
●输出纹波很低
●可调节抑弧时间
规格:
●输出功率:MDX 1KW:1000W,MDX 1.5KW:1500W
●输出电压:1000V,1300V;500V,750V
●点火电压:1500V;900V,1200V
●输入电压/电流:MDX 1KW:115VAC,50/60HZ±10%,16Amax;
208/220VAC 50/60HZ±10%,8.9A
●MDX 1.5KW:208/220VAC 50/60HZ±10%,13.4A
●尺寸:175.3×266.7×400mm
●重量:8.6KG
MDX 1KW、1.5KW
AE(Advanced Energy) PINNACLE 20KW
AE(Advanced Energy) RFPP LF10A
AE(ADVANCED ENERGY) ID-3500
AE(Advanced Energy) PINNACLE 6KW
ENI(MKS) RF Generator ACG-3B
AE(Advanced Energy) RF GENERATOR HFV-8000
AE(Advanced Energy) Diamond 8KW
AE(Advanced Energy) RFG-1250
ENI(MKS) GENESIS GW2502MA-F1N132-A1
ENI(MKS) GHW-50A GHW50A-13DF3H0-001
AE(Advanced Energy) RFG 2000-2V
AE(Advanced Energy) Apex-3013 RF13.56MHz
AE(Advanced Energy) MDX13 13KW
AE(Advanced Energy) Pinnacle 8KW
AE(Advanced Energy) Pinnacle 12KW
ENI(MKS) OEM-12A-21041-51 1250W
AE(Advanced Energy) Matching Work ATX-600
AE(ADVANCED ENERGY)MDX-10KW Delta