半导体生产工厂都要有高架地板来适应复杂设备的要求（水管设施、电缆、输气管等）以及保持严苛的净度。这样的地板对于极度振动敏感产品、检验以及计量设备的安装都是ji 大挑战。高架地板不能为这样的设备提供bi 要的振动环境。

TMC的Quiet Island是利用固定于底层地板下面的‘Quiet Island’来代替高架地板一部分的创新的解决方案。Quiet Island是包含带有专门的支撑结构的特殊平台。

平台

平台是由TMC设计并生产的夹着轻质、不可压缩的阻尼核心材料的钢制4inch薄板。由坚硬的钢板、核心以及环氧树脂粘合成的具有夹层效果的不锈钢钢板使产品具有ji 高的硬度和结构阻尼。大面积的横截面和含钢量使整体硬度达到一个较高等级。平台顶面和边缘是

连续的整块的不锈钢外壳，用来保持其净度、外观和完整性。

平台支撑

基于特殊的应用需求，平台支撑可以是刚性非共振支柱或者STACIS 2100主动振动消除系统。如果底层地板满足工具的振动标准，用支腿支撑设备不会放大振动时，选择支撑结构是合理的。TMC为yi 定高度范围的地板设计了一组刚性的支腿。这些三脚架、四面支架或者正方形横断面支架都可以直接和底层地板、平台相接。

然而，如果底层地板不满足工具振动标准或者以后将会不满足要求，就bi 须使用振动隔离系统。STACIS 2100就是个理想的选择。STACIS 2100与所有内置振动隔离系统的设备都兼容。“hard-mount”设计非常坚固，对于高大的、顶部很沉的设备也不需要担心稳定性。

刚性支腿和STACIS 2100支撑是可以互换和即时升级的。同时，对于实验室的高架地板环境中的敏感设备都提供了完整解决方案。

其他Quiet Island配置

种类繁多的高架地板以及安装中面临的挑战促使TMC不断创新并且提出与众不同的方案。如果你有无法解决的高架地板的问题，请联系我们。