λ/1000超高精度激光干涉仪

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爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品，测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术，主要用于高精度的表面（平面,球面,非球面,自由曲面）检测及透射检测。

产品参数：

产品特点：

测量光路示例：