SJ6000 激光干涉仪
激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度,高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高,测量范围大,测量速度快,最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长,角度,直线度,垂直度,平行度,平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性,角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移分析,速度分析,加速度分析,FET分析,如丝杆导轨的动态特性分析,振动分析,驱动系统的响应特性分析等。
SJ6000功能特点 1.精度高 SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度,抗干扰能力强,长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响 ,保证干涉光路稳定可靠。
2.功能广(1)可实现线性,角度,直线度,垂直度,平行度,平面度,回转轴等几何参量的高精密测量。(2)可检测数控机床,三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度,重复定位精度等,以及导轨的俯仰角,扭摆角,直线度,垂直度等;(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;(5)支持手动或自动进行环境补偿。
3.软件强 (1)友好的人机界面;(2)丰富的应用功能模块;(3)向导式的操作流程;(4)简洁化的记录管理;(5)支持中文简体,中文繁体,英文和俄文界面;(6)支持企业专属模板定制。
4.标准多 内置13份标准,包含GB,ISO,英标,美标,德标,日标等国内外通用标准。可根据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
