基板尺寸 最大609mm(X)×508mm(Y)
设备精度 2 CPK@±25微米 Sigma
重复精度 12.5微米（6 Sigma.CPK≥2.0)
循环时间 13秒
钢网尺寸 736×736 毫米（29″×29″）
设备重量 862kg
电源气源 220V-240V(±10%)单相50/60Hz 15A,0.5-0.8MPa
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