特点：
l 的台阶再现性与线性度。
l 超高直线度保证，可确保量测图形不受移动轴影响，并可在保证直线度的前提下长距离
量测，同时解析表面翘曲度、波纹度、内应力等。
l 采用超低噪音直动式传感器LVDT（差动变压器），超低测定力的触针可对应各类型样
品表面。
l 配备高分辨率的CCD 即时进行高精度定位测量，实时观测测量过程。
l 中文化软件除台阶分析外并具有粗糙度解析功能，可对应各种国际规范，测定参数多达
60 多种。
l 适用于各种与微米、纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄
膜/化学涂层以及平板显示等的膜厚、台阶、段差测量。

技术参数：
一、测定工件：
1. 工作台尺寸 220mm×220mm
2. *大工件尺寸 210mm×210mm
3. *大工件厚度 50mm
4. *大工件重量 2kg
二、检出器（pick up）：
1. Z 方向测定范围 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 测定力 0.5uN ~500uN(0.05mgf~50mgf)
4. 触针材质、半径、夹角 钻石、0.5 , 2 μm、60%夹角
5. 驱动方式 直动式
6. 再现性 1σ= 0.5nm(全量程)、1um 以下台阶重现性可达0.2nm 以下
三、X 轴 (基准轴)：
1. 移动量(*大测长) 100mm
2. 移动的真直度 0.005μm/5mm
3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S
5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再现性 ± 5μm
四、Y 轴(位置决定用)：
1. 移动量 52mm
2. 移动速度 max.3mm/S
3. 检出器自动停止机能
六、工件台：
1. 工件台尺寸 220mm×220mm
2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/150m
七、全自动量测功能
八、工件观察装置 max. 80 倍(可选购其它高倍率CCD)
九、床台 材质为花岗岩石
十、防振台(选购) 落地型或桌上型
十一、电源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台)
十三、本体重量 一体花岗岩结构约220Kg(不含防震台及解析部份)