广泛应用于饮用水消毒杀菌、消毒、漂白、除异味等特性，如饮用水消毒、污水净化处理、无菌场所的空气灭菌净化、食品贮藏保鲜、医用治疗和家庭空气净化等方面。

在臭氧生产过程中，臭氧气体的浓度值、产量和生产效率等技术指标，受气源的温度、湿度、压力、发生器的冷却效率、放电室放电沿面的老化等因素的影响而产生较大的波动，所以在臭氧应用设备上使用浓度检测仪是实时监测、精确控制臭氧气体浓度、标定臭氧产量的必要技术手段 。