高纯铍用于分子束外延蒸发源，X射线。
铍（Beryllium）是第二周期第二主族元素，原子序数为4，元素符号Be，是一种灰白色的碱土金属，属六方晶系，质硬，有展性。铍及其化合物都有剧毒。铍既能溶于酸也能溶于碱液，是两性金属，铍主要用于原子能反应堆材料，宇航工程材料，各种合金，X射线透射窗等
Be原子的价电子层结构为2s2，它的原子半径为89，2+离子半径为31，Be的电负性为1.57。铍由于原子半径和离子半径特别小，电负性又相对较高，所以铍形成共价键的倾向比较显著，不像同族其它元素主要形成离子型化合物。因此铍常表现出不同于同族其它元素的反常性质
铍还能生成许多稳定的螯合物。例如将氢氧化铍与醋酸一起蒸发，就生成了碱式醋酸铍。这是一个共价化合物，其中4个Be原子包围着一个中心O原子，6个醋酸根Ac-则沿着四面体的6条棱边而排布。这个配合物是共价的，并且能够被蒸馏，可用于铍的提纯。
在铍的其他螯合物中，如草酸铍盐、萘酚配合物和乙酰丙酮配合物等，在这些螯合物中，铍原子都是四面体地被包围着。铍的化合物有极高的毒性就是由于它们有极高的溶解度和它们很容易形成配合物之故
