显微镜专用压电定位/扫描台
姓名：李工(William)
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对于高分辨显微科学而言，精确地而快速的控制样品的位置是获得高质量影像的必要条件，因此压电平台是高分辨显微科学研究的必要工具。
压电平移台是利用压电陶瓷的形变驱动，以柔性铰链为导向，采用硅高精度位移传感器，并利用超低电子噪声的控制器使位移平台拥有紧凑的体积、亚微米的分辨率及超低底噪。被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。
其中中空式压电平台是指平台台面有透空通孔的平移台。主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。如超分辨显微镜、原子力显微镜（AFM显微镜）生物学研究等。
昊量光电的中空式压电平台可提供不同维度及行程的位移平台。主要包括以下产品：
1） 中空式压电平移/扫描台，
可提供一维/二维/三维等不同维度的平移台，可提供不同行程，不同通孔的平台。该平台采用对位移敏感的硅传感器，使平台体积超紧凑，并且有超低底噪。
2）手动压电混合定位平台
压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的精确定位与扫描。
3）压电物镜定位器
该平台主要用于物镜Z轴方向精确定位和扫描。可提供100-300μm的行程，广泛用于Z轴堆叠；3D成像；自动对焦等应用。可自由更换安装环，可适配RMS，M25，M26，M27和M32等物镜。
u 产品特点
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振频率可达7000Hz
l 采用硅传感技术
l 超低底噪
l 柔性铰链导向
u产品参数
Unit | HS1.10 | HS1.30 | HS1.50 | HS1.70 | HS1.100 | LF1.100 | LF1.200 | LF1.300 | FOC | |
Range of motion | mm | 10 | 30 | 50 | 70 | 100 | 100 | 200 | 300 | 300 |
Resolution | nm | 0.01 | 0.03 | 0.05 | 0.07 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.3 |
Typical noise floor | nm | 0.001 | 0.003 | 0.005 | 0.007 | 0.01 | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.03 |
Full range repeatability | nm | 0.02 | 0.06 | 0.1 | 0.14 | 0.2 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.6 |
Stiffness | N/mm | 5.2 | 3 | 3 | 3 | 1.1 | 0.6 | 0.5 | 0.4 | 0.3 |
Maximum load : | ||||||||||
horizontal use | Kg | 1 | ||||||||
vertical use | Kg | 0.5 | ||||||||
Sensor | Silicon HR sensor | |||||||||
Material | Al | |||||||||
Cable length | m | 2 | ||||||||
Controller | Standard or High Speed | Standard | ||||||||
