真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式

水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源：2套日本电子24P双枪

离子源：23寸光驰RF离子源

排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold  日本爱发科2401+1200A

性能

达到压力：7. 0X10-5Pa以下

排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)

基板温度：高: 350C

工作条件

电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA

水流量：180升/分以上

空气压力：0.5MPa以上

重量：约11000kg