由于等离子废气净化器一般处在酸性气氛中，所以使用防腐性能较好的材料制造。常用的材质有铅质、硬PVC和玻璃钢三种类型。其中铅制静等离子废气净化器应用的历史久。除雾器阴极电晕线的材质也有很多种，如镍铬钢丝外包铅、钛钯合金线、钛丝等。

等离子废气净化器工作时要在阴阳两极之间产生不均匀电场，所以需要两极都可以导电。一般玻璃钢或聚氯乙烯等非金属材料的静等离子废气净化器采用借助液膜导电的方法;也有用玻璃钢和石墨混合压制而成的导电玻璃钢，或采用在玻璃钢阳极内层加一层碳纤维垫的方法来解决导电问题。

等离子废气净化器阳极管板现在主要有塑料制、铅制和导电玻璃钢制三种。由于塑料制等离子废气净化器是靠液膜导电，有效沉淀面积改变较大，运行的电压和电流偏低，效果不如后两者;近年来，铅制阳极管板不断被导电玻璃钢所替代，具有质轻、价低，综合性能突出等优点。导电玻璃钢等离子废气净化器主要有处理气量、总压力降和出口酸雾等指标。

等离子废气净化器工作原理：

通过静电控制装置和直流高压发生装置，将交流电变成直流电送至除雾装置中，在电晕线(阴极)和酸雾捕集极板(阳极)之间形成强大的电场，使空气分子被电离，瞬间产生大量的电子和正、负离子，这些电子及离子在电场力的作用下作定向运动，构成了捕集酸雾的媒介。同时使酸雾微粒荷电，这些荷电的酸雾粒子在电场力的作用下，作定向运动，抵达到捕集酸雾的阳极板上。之后，荷电粒子在极板上释放电子，于是酸雾被集聚，在重力作用下流到除酸雾器的储酸槽中，这样就达到了净化酸雾的目的。