高精度测高仪

518 系列—高精度 2D 测量系统

   

• 带 0.1µm/0.4µm 分辨力 / 重复精度的指示精

度可达 (1.1+0.6L/600)µm。

• 高精度测高仪加入了广泛的测量功能。

• 为了达到

一

流的精度，使用高精度反射性线

性编码器和高精度导轨。

• 测量可以通过图标命令来执行，同时，也支

持

一

键操作，保证正面的垂直度为 5µm，直

线度为 4µm。

• 使用 TFT 液晶显示屏，以达到完美的可视性

和可操作性。

• 气体全浮 / 半浮系统可以进行空气浮动高度

调整。

• 配有基本的统计功能，另外， RS

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232C 数据

输出可通过连接计算机上的 SPC 软件，进行

外部测量数据评估 (可选)。

• 精密黑色花岗岩平台，详细信息参见 E

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49 页。

• 数据备份 / 恢复，测量工件程序可通过 USB

存储设备来执行 (FAT16/32 兼容格式)。