采用UV光解工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光解设备功率充足的情况下，测得UV光解净化效率均可达到99%以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光解适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光解净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致UV光解的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套UV光解净化设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响UV光解净化设备净化率的各种因素，尽量的去提高UV光解净化工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，UV光解净化系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上甚至高。

当废气由风机提供动力，负压进入活性炭吸附箱后进入活性炭吸附层，由于活性炭吸附表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，因此当活性吸附的表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在活性炭表面，此现象称之为活性炭吸附。利用活性炭吸附表面的吸附能力，使废气与大表面的多孔性活性炭吸附相接触，废气中的污染物被吸附在活性炭表面上，使其与气体混合物分离，净化后的气体高空排放。​