美国 HVA 不锈钢高 超高真空插板阀 11000 系列 阀门材质: - 阀门主体 304 不锈钢 - 焊接波纹管轴封 AM - 350 阀门密封方式 - 高真空 氟橡胶 - 超高真空 铜垫圈 / 氟橡胶 真空: - 压力范围 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar - 漏率 < 2x10-9 mbar l/S - 差压关闭 1 bar ( 任意位置 ) - 开启前最大压力 ≤ 30 mbar 烘烤温度（不含电磁阀）: - 佛橡胶密封 150 °c, 可选配置最大 250 °c - 铜垫圈密封 阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c - 驱动方式 手动 60 °c, 气动 60 °c - 气体 80 psig (5.5 bar) - 电磁 4.0 Watts - 供电 120 VAC 50 /60 Hz - 可选电压 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz - 位置指示器,最大 115 VAC 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) 公称通径: DN 16 - 800 mm HVA 标准周期 11000 系列组成:
上海伯东美国 HVA 真空插板阀 11000 系列满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA 与前级泵 涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.
HVA 不锈钢高 真空插板阀 11000 系列产品特点
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm , 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
最高温度 250°C
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 高 超真空插板阀 11000 系列技术参数
或 12, 24 VDC
或 28 VDC, 20 mA
美国 HVA 11000 系列有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸（可选择的) , 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列独特的气缸设计保证最低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢提供了业界最小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性,效消除了虚漏和缺陷部分, 阀体变形. 阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用. 美国 HVA 11000 系列可任意位置安装.
HVA 真空插板阀应用案例一
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 11000 系列并搭配 Pfeiffer 和 成功分析生长晶体表面结构.
HVA 真空插板阀应用案例二
美国 HVA 在半导体管道中的应用
半导体管道应用示意图 现场图
美国 HVA -美国最大制造商. 美国 HVA 原装, 超过50年的高真空和超高设计与制造. 主营高, 广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国 HVA 在中国地区唯一指定总代理商。
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