纳米机械手-纳米操纵仪-纳米操作机LF-2000
产品简介
TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自动化纳米操作系统，也是能够在SEM/FIB下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。
产品特性
· 兼容主流电镜，不影响电镜功能
· 具有大行程、亚纳米分辨率运动定位性能
· 位移传感器集成自动化和可编程运动
· SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸
规格参数
系统概况 | 系统尺寸 | 127x127x33mm3* |
机械手数量 | 1-4 |
操作手（宏动） | 驱动原理 | 粘滑驱动 |
运动范围 | XY轴：10mm Z轴：5mm |
最大速度 | 3mm/s |
最小步长 | <100nm |
操作手（微动） | 驱动原理 | 无摩擦柔性铰链 |
运动范围 | XYZ轴：20μm |
最大速度 | >45μm/s |
开环运动分辨率 | 0.5nm |
闭环运动分辨率 | 1nm |
定位漂移率 | <0.35nm/min |
软件功能** | 点击-移动 | 鼠标在电脑屏幕上从A移动到B |
自适应放大倍数 | 定位器移动速度根据SEM放大自动调整 |
操作手位置保存/加载 | 用户自定义的“保存/加载”操作手坐标 |
3D虚拟显示 | 实时三维显示操作手的位置和运动 |
自动校准 | 操作手闭环传感器自动校准 |
运动轴的自动对准 | 所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴 |
*系统尺寸可根据需要减小到50x50x17mm3
**可根据选定SEM/FIB的型号而定
应用案例
电学特性
LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。
力学测量
LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕，以及对单根纳米线的拉伸测试。
拾取和放置操作
使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。
制作微纳米器件
精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。
纳米电子器件电学测量
LifeForce纳米操作机是市面上唯一能够自动探测电子结构（范围从亚微米，亚100nm及亚20nm）。只需要通过计算机点击鼠标，将探针定位到目标位置。极低得定位漂移，保证数据采集得可靠性。
