菲沃泰镀膜设备被认定为江苏省首台（套）重大装备产品

等离子体（plasma）是由电子、正负离子等组成的离子化气体物质，被称为继固（Solid）、液（Liquid）、气（gas）被列为物质的第四态。据估计，宇宙中99%的物质是以等离子体状态存在的，比如太阳本就是一个等离子体火球。

等离子体化学气相沉积(plasma chemical vapor

deposition ,PCVD)是一种用等离子体jihuo反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。等离子体应用于制备高分子薄膜则是从1960年Goodman在低温下利用等离子体引发苯乙烯聚合才真正开始。

但PCVD在工业上应用却要晚得多，这主要是由于镀膜的工艺技术复杂，设备投资昂贵，涂层均匀性较差。近半个世纪以来，人们不断开发新的工艺技术，并努力降低整体投资成本，使得等离子体技术尤其是低温等离子体聚合技术逐渐在制备功能性薄膜领域得到应用。

设备控制技术是目前大规模生产的主要难题之一。菲沃泰纳米科技有限公司在创始人的领导下，自主开发了行星货架纳米镀膜设备，该设备适用于各种基材表面制备多功能纳米涂层，是世界前列自动化智能设备，解决了目前市场上镀膜设备等离子体不均匀、沉积效率低、纳米涂层厚度不可控等技术难题。菲沃泰设备于2018年12月被认定为江苏省首台（套）重大装备产品。

该纳米镀膜设备的成功开发，使菲沃泰的纳米涂层产品性能获得了质的飞越，其产品获得国内多个电子产品龙头企业的认可，成为功能性纳米涂层市场的引领者。菲沃泰始终坚持技术创新才是企业发展的比较大动力，以自己作为比较大的竞争对手。2019年菲沃泰通过改进等离子体产生的方式、腔体空间合理布置，开发出了新一代的等离子体纳米设备。该设备不论在生产效率提高了1倍，膜层质量也得到了大幅度的改善。