等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、的核素（）、光子等。就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、等目的

      采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验和教学。​

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