工业气体成分第三方检测

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随着科学技术向高、精、尖发展,对各种原材料“纯度”的要求开始越来越高。但是,高纯气体所能提供的数量通常总是较少的,同时,价格昂贵。因此,如何正确地恰如其分地提出对原料气的纯度要求,如何选用高纯气就成为一个值得讨论的问题。正确地处理好这个问题,在技术和经济上都会带来深刻的影响。通常,人们常用百分浓度来表示气体的纯度,即所谓用几个“9”字的表示法。气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏度的提高,噪音明显增高,基线达到稳定需要较长的时间。我们采用液氮冷阱冷却载气,基线不仅能很快达到稳定,而且在高灵敏度时,噪音显著降低。长期测定结果表明,这一方法是完全可行的,能够满足集成电路生产对高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳检测的需要。