产品介绍
CIF匀胶机
CIF匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
产品特点
采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,最多100个阶段。
内置水平校准装置,最大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
多重安全保护
电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
盖子自锁功能,防止飞片盖子弹开伤人;
双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,最大限度保证实验人员安全。
一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
技术参数
型号 | 转速(转/分) | 转速稳定度 | 匀胶时间 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000S | 圆片Φ5-Φ100,方片最大100x100 | 310x260x250 |
关于CIF
CIF 来源于美洲,服务于中国,是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司,在半导体材料表面处理技术和无机样品前处理技术领域为客户提供先进的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。
CIF 中国总部坐落于北京国际企业孵化中心 (IBI),系国家高新技术企业,公司具有自主进出口权,并已通过 ISO9001-2008 质量管理体系认证,全系列产品通过CE认证。
CIF 自成立以来,始终坚持以科技创新和发展为宗旨,发扬“诚信、务实、协作、共赢”的企业精神 , 为包括我们的股东、员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人提供创造和实现他们美好梦想的机会!
CIF目前主要生产产品:
半导体材料表面处理仪器:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机。
无机样品前处理通用仪器:亚沸酸蒸清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板、实验室废液收集系统。