等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子废气净化器采用了   的吸附-分解-碳化 离心式抽风安装新工艺技术设计,采用标准模块设计等优点,是一种干法处理有机废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，换及维护保养方便。

等离子净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的   电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、   量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

等离子净化器的特点：

1、处理效果好，在额定处理风量小，去除率达95%以上，颗粒物去除率达95%以上。

2、二次油回收量大、纯度高，可在短期内收回设备投资。

3、   性能高，设备带有完善的电气保护功能。

4、模块式结构、多电源控制，在部分电源停止工作的情况下不影响设备使用。

5、容易清洗维护，只需打开设备检修门取出电场浸泡冲洗就可以。

6、具有放电跳停、电源过载保护和变压器过温保护、设备   可靠。

7、精密的圆筒蜂巢电场，能使设备具有   的除油雾效果。

采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
对气态有机污染物的降解机理
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子。分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。