A3-SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。A3-SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚，测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下，A3-SR还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外，A3-SR还可用于精确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。

A3-SR进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量，每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。

目标应用：

半导体镀膜,光刻胶                           玻璃减反膜测量

蓝宝石镀膜,光刻胶                           ITO 玻璃

太阳能镀膜玻璃                                各种衬底上的各种膜厚，颜色测量

卷对卷柔性涂布                                光学膜

其他需要测量膜厚的场合

基本原理：

  入射光在膜的上下表面发生多次反射

  反射光的强度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波长有关

  在已知折射率的情况下，根据测量出的反射光强和波长的函数，计算出膜厚