仁荷泰可北京科技有限公司是国内专业的气体质量流量控制器供应商和服务商,可以给您更高效和专业的指导和方案设计。
主要经营:气体质量流量控制器,品牌涵盖中低端各个是市场,主要有美国BROOKS,韩国MKP,中韩合资品牌高性价比INHA(银河)。工厂拿货,品质保证,价格合理。WEI信(NEWANDWEI)![](http://img11.makepolo.cn/images/formals/img/product/836/772/4_ce64c654afdeb896412a0aa3fe151240.png)
型号:5853/5850/ 5850/5851S/5850E
流量范围 相当于0-3 sccm到0-30 sccm氮气(N2)的范围
性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1.5%。
可重复性:0.25% 控制范围:50:1 安装状态灵感度:复零后,比指定**度误差不到±0.5%量程。
温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度
量程:比*初校准刻度小±1.0%量程(在10-50摄氏度)
压力敏感度:±0.03%每psi到200psig(N2)
输出电压:0-5伏直流(200K欧姆的输出电阻)
输出信号:输出0-5伏直流到20欧姆或更高的负荷 输出5±0.1伏直流(参考),**负荷20欧姆
*操作压力:1500psig ;5-50psid压损(**压损根据气体和周围环境具体而定)
温度、外界/气体:41-149oF(5-65oC)
完全泄漏,外界:1×10-9cc/s
功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)
直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质:
标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接:
硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR
电气连接:卡连接器![](http://img11.makepolo.cn/images/formals/img/product/635/206/4_a68b52d640608582a1872e478e0aea82.png)
![](http://img11.makepolo.cn/images/formals/img/product/751/888/4_fceff1c0f048b732b837eb41ff3814f9.png)
美国BROOKS布鲁克斯5850E进口气体流量计
BROOKS 5850E 5851E SLA5850S SLA5851S SLA5853S 5850S 5851S 5853S GF120CXXC GF125CXXC GF100CXXC