GJH100高浓甲烷传感器所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形均小于单独进行正面湿法刻蚀刻穿硅片所需的正面刻蚀窗口图形，所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形的中心重叠，且各边方向相同，所形成的背面刻蚀窗口图形小于正面刻蚀窗口图形，刻蚀窗口大小应保证能刻穿硅片形成通孔，通孔外形尺寸远大于硅加热器的外形尺寸，且硅加热元件的硅加热器位于两个刻蚀窗口的中心位置,该甲烷传感器催化元件解毒装置包括箱体加热装置和解毒装置,本发明的硅加热器的结构为多个硅加热条的并联形式，具有较大的与空气接触的高温表面积，能以高的灵敏度检测低浓度甲烷。GJH100高浓甲烷传感器将上述制备好的硅片置于四甲基氢氧化铵溶液或氢氧化钾溶液中对型硅采用结自停止方法在硅片的正面与背面同时进行硅湿法刻蚀,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上。

甲烷传感器产品介绍

甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。解毒装置设置于箱体内的底部，用于对甲烷传感器中的有害气体进行吸附,本实施例中是以甲烷传感器为例加以说明,同时，在本发明的硅元件的外表面设置的钝化层也降低了外界环境对上述元器件的影响，从而进一步提高了本发明的甲烷传感器性能的稳定性

甲烷传感器主要特点

1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。

2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。目前，传统的甲烷传感器及甲烷报警仪检定装置的检定工作只能在实验室的单一工作环境下进行，而一些矿区特别是比较偏远的矿区，煤矿检定中心质量技术监督局对甲烷传感器及甲烷报警仪不能及时地进行现场检定，使矿区存在严重的安全隐患，矿工的生命安全受到极大威胁,所述钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层,目前用于煤矿井下检测低浓度甲烷的仍是基于传统铂丝加热的催化燃烧式甲烷传感器，其功耗较大，尤其是催化剂的使用导致甲烷检测性能不稳定校验时间短等缺点;而红外甲烷传感器价格高传感元件受粉尘与水汽严重影响

3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。

4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。

5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。

6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。

甲烷传感器适用条件

1、适用条件

环境温度：0℃～40℃

相对湿度：≤98%RH

大气压力：80kPa～116kPa

风速：0m/s～8m/s

适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。所述型甲烷报警仪检定装置设置有用于放置甲烷报警仪的不锈钢卡槽，使得检定时更加稳定,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上,本发明的全硅甲烷传感器的硅元件的采用性能稳定的单晶硅经工艺加工得到，这使本发明的甲烷传感器在高温工作状态下具有良好的稳定性与长的寿命

甲烷传感器性能指标

测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4

基本误差 % CH4

0～1.00% ±0.10

1.00～3.00 真值的±10％

3.00～4.00 ±0.30

分辨率： 0.01%CH4

显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。

响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s

报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。

报警方式：声、光，其中：

a) 声级强度：≥80dB(A)；

b) 光可见度：20m处清晰可见。

工作方式：扩散式

断电功能：

a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4

b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4

防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型

防爆标志：Exdib I Mb

输出信号：

a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）

b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。

外形尺寸：270 × 155 × 55mm

重量：≤1.3kg；

外壳材质：不锈钢。
可采用微喷印设备在精确定位后制备用作保护层的光刻胶,该数据采集模块包括调理电路和微控制器，该调理电路连接于该温度传感器和该甲烷传感器，并将环境温度信号和甲烷浓度信号进行调理和放大，该微控制器连接于该调理电路，将调理放大后的环境温度信号和甲烷浓度信号转换成数字信号,数据采集模块通电初始化，上位机与数据采集模块建立通信

GJH100高浓甲烷传感器本传感器经接口电路接收的信息，由本机的微处理器处理后，传输至数码显示电路予以显示,采集单元，用于采集由甲烷传感器检测的甲烷浓度信号,在基于湿法双向刻蚀娃的甲烷传感器的两个固定端上施加电压或通以电流使硅加热元件的工作点位于其电流-电阻特性曲线中转折点左侧的工作点区域加热元件的硅加热器发热，其特征在于电加热温度在摄氏度以上。GJH100高浓甲烷传感器刻蚀时通过硅圆片上的总金属连接端给型硅衬底上的型硅施加正电压，所述正电压高于结自停止刻蚀的钝化电势，以使型硅衬底与型硅所形成的结处于反偏状态,具有双向数据传输功能的甲烷传感器的第一实施例，包括：甲烷传感器，用于检测本地环境中的甲烷浓度，并将其转换成甲烷浓度信号。