Entegris Mykrolis chemlock Housing

liquid Filters

用于化学品、水、溶剂和光阻化学的膜和深度介质过滤技术，污染控制技术，可以控制制程中的污染物。

控制工艺流中的污染物是提高操作效率和推动技术进步的重要途径。Entegris提供用于每一个制造环境下的各种薄膜和介质，以满足各种制造环境的化学兼容性和工艺条件。