雷尼绍XL-80激光干涉仪，适用于：

1.机床与坐标测量机(CMM)

按照国际标准验证机床和坐标测量机的精品工具

2.研发与计量

供校准和研究实验室使用的可溯源性测量

3.运动系统

独特动态性能，支持高速、高分辨率应用

系统应用测量范围

1.线性测量

线性设置可沿轴测量位置精度该设置通过比较机器控制器上显示的运动与激光系统测量的运动，来测量轴的线性定位精度。该设置提供的精度达±0.5 ppm（百万分之一），分辨率达1纳米。轴的重复性可通过多次测试进行测量。在线性测量过程中，激光系统会测量参考位置沿测量光路到光学反射镜之间相对距离的变化。可以移动其中一个光学组件，另一个光学组件保持静止不动。40 m - 80 m范围内的应用可使用长距离线性组件。

2.角度测量

角度设置可沿轴测量俯仰和扭摆误差，俯仰和扭摆角度误差是造成机床和坐标测量机位置误差的两个主要因素。即使是主轴的一个小误差，都可能对刀尖造成重大影响。这一设置可以测量高达±10°的角度偏移，分辨率为0.01角秒。通过监测角度反射镜的移动产生的光路变化进行角度测量。角度干涉镜最好安装在机器上的某个固定位置。然后将角度反射镜安装在机器的移动部件上。

3.直线度测量

直线度设置可测量与移动轴垂直平面内的误差直线度测量结果记录了垂直于轴运动的水平和垂直平面内的误差。直线度误差会直接影响机器的位置精度及轮廓精度。这可能是因为导轨磨损、事故或机器地基不牢造成的。通过监测直线度反射镜或直线度分光镜（Wollaston棱镜）的横向位移产生的光路变化进行直线度测量。可提供测量较短的轴 (0.1 – 4 m) 和较长的轴 (1 – 30 m) 的组件。结合两个直线度测量结果可评估独立轴的平行度。可提供用于测量垂直轴直线度的附件。

• 直线度光闸

• 大角锥反射镜

• 直线度基板

• 激光准直辅助镜

• 固定转向镜

• 可调式转向镜

4.回转轴测量

XR20-W回转轴校准装置和XL-80激光系统可测量回转轴的位置精度该回转设置可通过比较机器控制器上显示的运动和硬件测量的运动，来测量回转轴的位置精度。该设置采用了XL-80激光 系统、XR20-W回转轴校准装置和角度干涉镜。XR20-W配备一个紧凑轻巧的无线设备，可在±1角秒的精度范围内采集回转位置数据。XR20-W在设计上易于使用、数据采集速度迄今为止最快且无需操作人员干预。它提供可溯源的测量结果，可利用RotaryXL软件包按照国际标准出具报告。“摆动轴转台测量软件”能够在很难将XR20-W安装到机床回转轴中心点的机床配置中使用该系统。