AWM3000系列微桥气体质量流量传感器
AWM3000系列微桥气体质量流量传感器

常用型号：

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM3300V

描述 ：

与 AWM2000 系列类似，AWM3000 系列也通过双惠斯顿电桥控制气流测量。该系列产品有放大，因此可提高增益和调节传感器输出电压偏移。传感器内装配的放大电路。此外，该系列传感器内还装配有发热控制电路和传感桥供电电路

特点

● 激光校准，互换性更高

● 测量流速可达 1.0 SLPM

● 微差压传感

注 ：

1. 信号调理电路的初始预热时间长为 1 分钟。

2. 输出电压随电源电压成正比变化。

3. 差压器件的温漂主要由气体浓度随温度变化而引起。见应用指南 1。

4. 为避免损坏，大允许流量变化率为 5 SLPM/1 sec。